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370億項目搬入光刻機

來源:全球半導體觀察    原作者:Niki    

3月11日,廣州增芯科技有限公司12英寸先進智能傳感器及特色工藝晶圓制造量產線項目(以下簡稱“增芯項目”)迎來工廠最核心設備--光刻機搬入,標志著增芯項目迎來項目建設的關鍵性節點,順利進入調試投產準備階段。

據悉,增芯項目一期計劃投資370億元,預計項目一期一階段建成后,將具備年產24萬片12英寸晶圓的生產能力,產品將主要應用于新能源智能汽車、超高清視頻顯示、高端裝備、5G、人工智能、工業互聯網等領域。

據增芯科技總經理張亮介紹,增芯此次引進的光刻機產能輸出速率可達到260片/小時,其資金投入占整個工廠建設投資的約25%。

光刻機是晶圓制造當中最關鍵的核心裝備,相當于晶圓制造的照相機,通過曝光的方式將圖像投射到硅片上。光刻作為集成電路制造的關鍵工藝,利用光化學反應原理把實現制備在掩模版上的圖形轉印到晶圓表面,后續經過蝕刻在晶圓上形成圖形。

盡管與國際大廠相比,我國在光刻機研發方面仍存在不小的差距,但近年來,隨著首臺28nm國產光刻機成功交付,中國在光刻機技術上也取得了里程碑式的突破。

值得一提的是,除了自研光刻機之外,我國在半導體設備領域已經取得了長足的進步。據張亮介紹,目前國產裝備在增芯一期項目里的使用占比超過了35%,張亮表示,希望在二期投產的時候能達到一半以上。

事實上,近年來在國產化浪潮趨勢下,國內半導體設備廠商也在舞臺上發光發熱。與此同時,隨著行業逐步回暖和國產化推進,國內設備廠商們的營收與利潤也雙雙保持增長態勢。

其中,中微公司2023年的營收和歸屬于母公司所有者的凈利潤則分別同比增長32.15%和52.67%,盛美上海營收和歸屬于上市公司股東的凈利潤亦分別同比增長35.34%和36.21%。華海清科營收同比增長52.1%;實現扣非歸母凈利潤同比增長62.1%。而北方華創則預計其2023年營收將同比增長42.77%-57.27%,歸屬于上市公司股東的凈利潤同比增長53.44%-76.39%。

中國信息協會常務理事朱克力曾表示,隨著5G、物聯網、人工智能等新興技術不斷快速發展,半導體設備需求將持續增加,疊加國內晶圓廠產能持續擴張,2024年國內半導體設備企業有望迎更大發展機遇。

封面圖片來源:拍信網

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